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플라즈마 기반기술 개요
핵융합 및 플라즈마 기술 활용 극대화를 위한 기반기술 구축을 위한 기술 연구사업

주요 연구사업

  • 플라즈마-물질 상호 작용 연구 및 물성 DB 구축
  • 플라즈마 모델링 및 시뮬레이션
  • 플라즈마 특성평가 기술
  • 플라즈마 모델링 및 시뮬레이션
  • 연구 필요성

    • (K-0DPLASMA) K-0DPLASMA는 `13년도에 (주)경원테크로 기술 이전된 플라즈마 장비 해석 시뮬레이터로, 추가 모듈 개발에 대한 요구가 꾸준히 있음. 특히, pulsed 플라즈마 장비 해석은 K-0DPLASMA 외에는 대안이 거의 없는 상황이나 pulse 주파수가 점점 낮아지고 있어서 계산 속도 향상에 대한 요구와 상하부 분할 전극 CCP나 다양한 RF sheath 모델 추가에 대한 요구 등이 있는 상황임
    • (오픈 소스) 데이터베이스와 수치 해석 기법 등의 확산을 위한 오픈 소스 코드에 대한 연구가 진행되어 왔지만 코드의 일반화 및 interface 개발을 통한 배포 버전 수준의 개발이 필요한 상황임
    • (Complete set DB 개발) 신규 공정용 가스로 C3F8, CH3F를 혼합하는 연구나, Ar 대신 Xe 혹은 Kr을 혼합하는 연구에 대한 수요가 있는 상황임
    • (플라즈마 장비 시뮬레이션) 기 구축된 COMSOL과 같은 자원을 활용한 플라즈마 장비 시뮬레이션에 대한 요구가 있음. 실질적으로 장비 설계에 도움이 될 수 있는 연구를 위해 건수 보다는 목적 중심의 목표 설정이 필요한 상황임

    연구 수행 방법

    • 기 개발된 기술의 고도화
    • 신규 공정에 대한 진단 및 DB 최적화
    • 기 구축된 자원의 활용

    기대효과

    • K-0DPLASMA 및 K-SPEED의 매출 증대
    • 데이터베이스 및 소프트웨어 확산
    • 신규 가스에 대한 시장 선점
    • 플라즈마 해석 및 기술 지원
  • 플라즈마 진단 및 특성평가 기술
  • 연구 필요성

    • 플라즈마가 다양한 산업분야에 응용되면서, 플라즈마 현상을 이해하고 조절하기 위하여 측정/분석기술에 대한 수요가 증가되고 있음

    연구 수행 방법

    • Real-Time 플라즈마 모니터링 및 측정기술 개발
    • 다중주파수 및 연속/펄스 기반 플라즈마 측정 및 분석기술 개발
    • 진단시스템을 활용하여 공정용 단일/혼합가스 상태의 플라즈마 진단 DB 확보

    기대효과

    • 공정 진단 및 DB를 통한 플라즈마 공정 신뢰성 향상으로 플라즈마 응용 산업의 경쟁력 강화
  • 플라즈마 제어 서비스 기반 기술
  • 연구목적

    연구목적

    연구내용

    연구내용

    주요성과

    주요성과
  • 플라즈마-물질 상호작용 연구 및 DB 구축
  • 연구 필요성

    • 현재 대기오염이 심각해 지면서 국민의 삶의 질이 위협 받고 있으며, 대기 오염 가스 저감 기술 개발을 위해 산학연 모두의 협력이 필요함
    • 또한, 반도체/디스플레이 공정 시 이용 되는 식각, 증착, 클리닝 PFC 가스의 높은 지구온난화지수로 인한 대체가스 개발 요구 증가
    • 환경 규제 가스 대체 및 저감을 위해 다양한 플라즈마 기술이 연구 되고 있고, 양적 성과를 개선하기 위해서 플라즈마 반응 매커니즘 해석 역량이 강화될 필요가 있음
    • 다양한 분야의 플라즈마 물성 데이터 추가 확보 및 추가 서비스 제공
    • 네트워크 활동을 통한 국내.외 플라즈마 물성 데이터 연구 협력 기반 구축

    연구 수행 방법

    • 물질의 물리/화학 기초 데이터 연구
      - 가스의 플라즈마 상태 발생을 위한 기초 정보 제공
    • 플라즈마-물질 반응연구 ( 이론 및 실험 )
      - 플라즈마 발생 초기 및 플라즈마 내 하전 입자, 중성입자간 반응 메커니즘 규명
    • 플라즈마- 표면반응 연구
      - 플라즈마 상태의 다양한 이온, 라디칼과 대상 표면과의 반응 메커니즘 규명
    • 플라즈마 물성 데이터 기반 서비스 / 협력 모델 연구

    기대효과

    • 플라즈마 발생원 가스와 처리 대상 가스 간의 반응 메커니즘 이해를 통해 플라즈마 적용 기술 영역 확대
    • 대체 가스 개발 연구 분야 선도
    • 국내 유일 플라즈마 발생원 기초 물성 연구 시설로 플라즈마 기술 활성화에 기여
    • 신뢰성 있는 다양한 플라즈마 연구 분야 물성 데이터 확보를 통해 연구자 Needs 충족