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핵융합(연) ㈜아바코와 차세대 스퍼터 제작기술 기술이전

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작성자 최고관리자 작성일16-12-15 17:51 조회1,610회 댓글0건

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핵융합(연), ㈜아바코와 기술이전계약 체결
- 고품질 대형 디스플레이 제작 가능한 원천기술 이전 -

 


□ 국가핵융합연구소에서 개발한 ECR 플라즈마1) 기술을 활용하여 고품질 대형 디스플레이를 제작할 수 있는 차세대 디스플레이 증착장치 개발이 추진된다. 


    1) ECR(Electron Cyclotron Resonance, 전자 사이클로트론 공명) 플라즈마 :  자기장의 수직 방향으로 원운동하는 전자가 그 회전 주파수와 일치하는 주파수의 Microwave와 공명하여 가속하는 방식인 전자 사이클로트론 공명 원리를 이용한 플라즈마 발생 방법.


국가핵융합연구소(이하 핵융합(연), 소장 김기만)는 오는 25일(금) 오전 11시 ㈜아바코(이하 아바코, 대표이사 김광현)와 기술이전협약을 통해 “ECR 플라즈마를 활용한 스퍼터2) 기술”을 이전하고, 차세대 디스플레이 증착장치 개발 및 사업화를 추진한다고 밝혔다.  

 

   2) 스퍼터(Sputter) : 플라즈마 내 이온을 가속하여 타켓(Target)에 충돌시켜 타겟의 원자들을 튀어 나오게 하는 것을 의미하며, 이와 같은 원리를 이용하여 반도체, 디스플레이 생산라인의 박막증착 공정에 활용함.


“ECR 플라즈마를 활용한 스퍼터1) 기술”은 고밀도의 플라즈마를 활용해 디스플레이에 박막을 증착하는 기술로, 기존 기술보다 대면적 패널에 고품질의 박막을 균일하게 형성할 수 있는 것이 특징이다.


○ 기존 기술과 달리 플라즈마의 발생과 이온 가속을 독립적으로 제어할 수 있어 고에너지 입자에 의한 박막 손상을 최소화하고, 박막 표면 가열 효과를 줌으로써 상온에서 고품질 박막 형성이 가능하다.


□ 이러한 특징은 저온에서 고품질 박막(투명전극, 산화막, 질화막 등) 제조가 가능하여 기존 스퍼터 장비의 문제점을 해결할 수 있어 OLED, 플렉서블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 산업 발달에 혁신적인 역할을 할 것으로 기대되고 있다. 


○ 스마트폰의 보급과 디스플레이 산업의 발전에 따라 고품질의 박막 증착 기술 수요가 증가하고 있으나, 기존 기술로 이를 해결하기 위해서는 고온공정 및 제작시간 등 다양한 제약사항이 있어 왔다.


□ 다양한 산업에 적용이 가능한 플라즈마 기술을 보유하고 있는 핵융합(연) 플라즈마기술연구센터는 2010년 ㈜아바코에 ‘스퍼터 플라즈마 3차원 시뮬레이션 기술’을 이전하였으며, 2015년에는 스퍼터 장비 및 디스플레이 관련 분야 상호협력 협약을 체결한 바 있다.
 

○ ㈜아바코는 차세대 국가 전략 산업인 평판디스플레이(FPD) 및 박막 태양전지의 핵심장비를 개발하는 생산설비 전문 기업으로 해당 분야에 특화된 기술력을 보유하고 있으며, 관련 국책사업에 적극적으로 참여 하고 있는 국내 중견기업이다.


○ 특히 평판디스플레이(FPD) 분야에서 국내 업체로는 8세대 이상 대응 가능한 대면적 스퍼터 장비를 유일하게 생산, 판매하고 있으며, 지속적인 연구개발을 통해 OLED, 플렉서블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 산업에도 적용하고 있다.


□ 핵융합(연) 김기만 소장은 “국내 중소·중견 기업과의 지속적인 협력을 통해 연구소에서 보유하고 있는 우수한 플라즈마 기술이 차세대 반도체 및 디스플레이 산업분야에 사업화되는 모범 사례”라며, “앞으로도 플라즈마 기술이 다양한 산업에 적용될 수 있도록 노력하겠다.”고 밝혔다.

 

 

기술관련 문의
- 플라즈마기술연구센터 혁신기술연구부장 김성봉 010-9049-2883
- 기술사업화팀 권순원 010-4566-8473

 

붙임1. 기술소개자료(파일첨부로 확인하세요.)

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